07.06.2011, 22:16 Uhr, Wissenschaft & Technologie KLA-Tencor(TM) gibt die Auslieferung der ersten LMS IPRO5 bekannt Masken-Messsystem der nächsten Generation Milpitas, Kalifornien (ots/PRNewswire) - - Beschleunigung fortgeschrittener Maskenentwicklung und -fertigung Heute hat KLA-Tencor Corporation(TM) die Auslieferung des ersten LMS IPRO5 Messsystems für Maskenstrukturen bekannt gegeben. Der Empfänger, das Advanced Mask Technology Center (AMTC) in Dresden, wird das Messsystem für die …